超凈室是一種嚴格要求衛生環境的房間，主要用于光學器件制做，超凈室內可以進行涂膠、光刻、蒸發鍍膜及鍵合，清洗、烘干、電鍍、腐蝕、擴散及研磨等。超凈室條件的保持也特別重要，需要保持個人清潔衛生、時常維護超凈室環境的設備、做好設備維護運行記錄。
1.工作人員應做到保持個人清潔衛生，進入室內不要帶貴重金屬、裝飾品及一切化妝品，所用記錄紙應選用不起塵紙，記錄筆用圓珠筆。
工作人員每人少準備三套潔凈服，供換洗及備用，潔凈服每周應清洗兩次，并與外衣分別設置存衣柜。超凈室入口處應設置跨越式鞋柜及粘鞋墊。設備搬入室內前要用吸塵器或其它清洗方式清理干凈。每天清掃超凈室，包括地面、墻壁及工作臺面。
由于春季風沙較大，因此，門窗應密閉，采用雙層結構。風淋室前后門不得同時開啟，以防非凈化空氣污染凈化工作區。
設置循環凈化送風系統是為保持室內潔凈度達到規定等級。進入超凈室前需更換潔凈服及拖鞋，經風淋后方可入內。進入室內操作前20-30分鐘，即應打開循環凈化送風系統，下班后應將工件、工具等物品存放妥善后，停止凈化送風系統。凈化系統停止運行后，不應隨便進入室內，以減少對超凈室的污染。
2. 時常維護超凈室環境的設備，使之處于良好工作狀態是保證潔凈度的前提。相應設備包括柜式空調機、風淋室、使室內潔凈度達1000級的循環凈化送風系統、潔凈度達100 級的光刻區層流罩凈化送風系統及凈化涂膠臺和工作臺。
循環凈化送風系統為單機送風，使室內保持正壓。送風形式為上送、側下回，經初效、中效、三級過濾，設計風量3000m3/h , 風壓410Pa。 風淋室設置于超凈室入口處，用于吹除工作人員身上的浮塵，是進入室內的關口。風淋時，先設定時間，若需加熱，可打開溫控開關。根據需要調節噴口角度以提高風淋效率。
正確操作、調整空調以保持規定濕度和溫度。定期檢查室內、外機組運行及電氣線路連接狀況。所有循環凈化送風系統，當進風口處的過濾器表面發黑時，表明阻力增大，影響凈化效果，應定期用吸塵器清潔，必要時拆下清洗或更換。
風淋室噴口風速應每年測(低于規定參數值時，則應更換過濾器，更換時要注意箭頭標志及密封處不可滲漏。定期進行風機電氣線路檢修，以保證絕緣及接觸良好。
嚴格按規程操作，工作泵不能無水運行。視水質狀況，一年左右清洗、更換過濾樹脂或精密過濾芯以及紫外線殺菌燈一次。
當水箱水位達下限而報警時，應向水箱注入原水。關機時，注意同時關閉有關閥盤，以保持系統密封。設備的管理及維護應由專人負責，使設備保持良好的性能，對延長其使用壽命大有益處。另外，應做好設備維護運行記錄。
